El silicio elemental puede existir en sus formas amorfa y cristalina, y entre éstos dos extremos como silicio parcialmente cristalizado. La forma parcialmente cristalizada con frecuencia es llamada silicio policristalino o polisilicio para acortarlo.

Las constantes ópticas (n y k) de amorfos y poli- silicios son únicas a las condiciones de deposición y se deben calcular para una medida de espesor exacta. La rugosidad y posible nivelación de la cristalinidad de la lámina del silicio también se deben tomar en cuenta y medirlas junto con el espesor.

Los instrumentos Filmetrics incluyen rutinas de medición sofisticadas que miden simultáneamente y reportan cada uno de los parámetros requeridos para la lámina de silicio, todo con un solo clic del mouse.