Miles de láminas dieléctricas son utilizadas en las industrias óptica, de semiconductores y docenas de otras industrias, y Filmetrics surte instrumentos que pueden medir prácticamente todos. Aquí están algunos de los dieléctricos más comunes:
SiO2 –El dióxido de silicio es uno de los materiales más simples para medir, principalmente porque es no-absorbente (k=0) en la mayoría de las longitudes de onda y generalmente es muy cerca a ser estoiquiométrico (la proporción Si:O está muy cerca a igualar 1:2). Crecido térmicamente, el SiO2 es particularmente bien comportado y es comúnmente usado para referencias de índice de refracción y patrones de espesor. Filmetrics tiene sistemas que pueden medir SiO2 desde 3nm hasta 1mm de espesor.
Si3N4 – Las mediciones de láminas de nitruro de silicio presentan un desafío más grande que los otros dieléctricos porque la proporción Si:N raramente iguala 3:4, y de este modo el índice de refracción se debe medir usualmente junto con el espesor de la lámina. Para hacer todo más complicado, con frecuencia se incorpora oxígeno involuntariamente a las láminas, creando cierto grado de oxinitruro de silicio. Afortunadamente, nuestros sistemas permiten una completa caracterización de tu lámina Si3N4 en segundos, con un solo clic del mouse!
Consulte con uno de nuestros expertos de lámina delgada para hablar sobre su aplicación de dieléctricos.
Filmetrics ofrece medidas de prueba gratis-los resultados están normalmente disponibles de 1-2 días