Comparación de Elipsometría con Reflectancia Espectral

Ambas la Elipsometría Espectroscópica (EE) y la Reflectancia Espectral (RE) analizan la luz reflejada para determinar el espesor y el índice de refracción de dieléctricos, semiconductores, y láminas de metal delgadas. La principal diferencia entre las dos técnicas es que EE usa la luz reflejada de la lámina a un ángulo de incidencia bajo, mientras que RE usa luz que es reflejada perpendicularmente (normal) a la lámina.

Esta diferencia en el ángulo de incidencia de luz conduce a diferencias en el costo, la complejidad, y las capacidades de las dos técnicas. Puesto que la luz de un elipsómetro es incidente a un ángulo, debe analizar la polarización de la luz reflejada, así como su intensidad, lo cual le da mejor capacidad para medir láminas multipcapas muy delgadas y complicadas. Sin embargo, analizar la polarización, también significa que se requieren componentes de precisión de movimiento óptico muy costosos.

Por usar luz que es perpendicular a la lámina, RE puede ignorar los efectos de polarización (puesto que la mayoría de las láminas son rotacionalmente simétricas). De este modo, RE puede ser realizado sin ningún componente movible, lo cual resulta en instrumentos más simples y de menor costo. Los sistemas RE también pueden fácilmente incluir análisis de transmisión para aún mayor potencia.

Refiriéndose a la tabla de abajo, RE es usualmente la técnica preferida para láminas más gruesas de 10um, mientras que EE es generalmente preferida para láminas más delgadas de 10 nm de espesor. Entre estos dos espesores hay muchas aplicaciones donde ambas técnicas pueden ser utilizadas. Cuando este es el caso, se prefiere utilizar RE debido a su velocidad, simplicidad y bajo costo.

Para mas información acerca de Reflectancia Espectral hacer clic aquí.