La medición exitosa de las resinas fotoresistentes requiere vencer varios desafíos, de los cuales todos se pueden tratar automáticamente con los sistemas de medición Filmetrics, Estos desafíos incluyen, no exponer la resina fotoresistente a la fuente de medición de la luz, teniendo acceso a la biblioteca de indice refractivo que cubre el rango extensivo de resinas fotoresistentes, y teniendo la habilidad de tratar la tendencia de la resina fotoresistente de cambiar el índice de refracción con el grado de horneado y exposición.

La medición de SU-8 y otras resinas fotoresistentes gruesas es una aplicación particularmente importante, puesto que obtener el recubrimiento, aunque rápido y fácil, puede ser un método inexacto para la obtención del espesor deseado. Ya que el tiempo de exposición depende del espesor de la resina fotoresistente, se debe de tomar una medida exacta. Además, ya que las resinas fotoreistentes positivas y negativas se pueden usar juntas para crear estructuras multicapas MEMS, saber el espesor de cada capa se convierte en algo extremadamente importante.

Filmetrics ofrece una gama de soluciones de sobremesa y mapeo para medir el espesor de láminas de resina fotoresistentes monocapa, multicapa e incluso de láminas aisladas. Se pueden medir láminas desde 3 nm a 1 mm. Todos los modelos Filmetrics pueden medir índices y el espesor por medio del modelado exacto de reflectancia espectral. Los algoritmos especiales permiten el análisis con un "solo clic", con los resultados normalmente disponibles en menos de un segundo.