Comparación de Profilometría y Reflectancia Espectral
La Profilometría es una técnica mecánica muy fácil de entender, para medir el espesor de la lámina. Funciona por medio de monitorizar la altura vertical de una aguja mientras es barrida lateralmente sobre un escalón formado en la lámina. (véase la figura a la derecha). La principal ventaja de la profilometría es que se puede usar en todas las láminas sólidas, incluyendo materiales opacos tales como láminas de metal grueso. Los sistemas más costosos de profilometría también se pueden usar para mapear contornos de superficies.
Sin embargo, existen desventajas a la profilometría. La principal es que se debe fabricar una muestra con un escalón para medir el espesor de la lámina, y los escalones de la lámina formados de este modo frecuentemente no son perfectos (referir a la figura). Esto, combinado con un error de calibración y movimiento mecánico, frecuentemente pueden conducir a errores significantes (5-10%) en el espesor medido.
En contraste, la Reflectancia Espectra (RE) es una técnica sin contacto que no requiere preparación de muestra para medir el espesor de la lámina. La luz que es reflejada de la lámina se analiza en aproximadamente un segundo para determinar ambos, el espesor de la lámina y el índice de refracción. Las láminas multicapas también se pueden medir con SR.
